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       由于壓電定位技術(shù)具有很多獨(dú)特之處,例如快速響應(yīng)、剛性好、長(zhǎng)壽命、無(wú)限的分辨率等,很快在從半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備到精密機(jī)械加工等許多領(lǐng)域中得到應(yīng)用。其中,最具有代表性的應(yīng)用為用于精密加工的壓電快速機(jī)床伺服系統(tǒng),該類系統(tǒng)通常裝有特殊的防水外殼,并提供與機(jī)床相聯(lián)的機(jī)械接口。

  壓電定位系統(tǒng)內(nèi)置測(cè)量/傳感子系統(tǒng),分辨率達(dá)到納米至亞納米級(jí),通過(guò)數(shù)字或模擬控制器可閉環(huán)工作。柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)放大機(jī)構(gòu)可以在增大行程的同時(shí)保護(hù)壓電陶瓷免受離軸力(側(cè)向力和扭矩)的破壞。

  壓電定位系統(tǒng)廣泛用于世界各地的工廠中,每天工作24小時(shí),一周7天。它們的使用大大提高了光學(xué)器件、曲軸、軸承、活塞、汽缸等的加工精度,成為機(jī)床中金剛石修整、研磨、拋光、非圓鏜孔和磨損補(bǔ)償?shù)汝P(guān)鍵工藝的核心部件。