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       壓電定位系統(tǒng)作為一種基礎(chǔ)工具,廣泛應(yīng)用于超高密度數(shù)據(jù)存儲(chǔ)中的測(cè)試和測(cè)量系統(tǒng)、納米壓印、納米裝配和納米制造。在跟隨摩爾定律的過(guò)程中,它們所具備的超高精度和速度使它們成為必不可少的器件。

  通過(guò)先進(jìn)的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)和高性能的控制技術(shù),納米定位的技術(shù)水平被提升到納米級(jí)精度和毫秒級(jí)響應(yīng)。