壓電納米定位臺具有高可靠性、高速運動、零間隙無摩擦、納米定位精度等優(yōu)勢

壓電納米定位臺也稱納米定位臺、壓電納米臺、壓電柔性鉸鏈平臺、壓電撓性平臺，它具有高可靠性可以數(shù)十億次往復(fù)循環(huán)、高速運動可達(dá)毫秒級步進(jìn)和穩(wěn)定時間、零間隙無摩擦、平滑線性運動、極低的寄生運動、極好的平面運動、納米定位精度，具有長期穩(wěn)定性等優(yōu)勢，并且可在特高壓環(huán)境中運行，可以采用非磁性材質(zhì)制造，不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。