閉環(huán)納米定位系統(tǒng)內(nèi)置精密位移傳感器，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性、精度和可重復(fù)性

由于在PZT壓電致動器中沒有影響晶格間距的量子原理，研生的納米定位平臺的步進(jìn)分辨率僅取決于壓電控制器的輸入控制信號（模擬或數(shù)字）的分辨率，受限于壓電驅(qū)動控制系統(tǒng)的基本本底噪聲。在開環(huán)模式下，輸出功率驅(qū)動模塊僅通過放大輸入的電壓信號來控制納米定位平臺的運(yùn)動，納米定位臺的位置會帶入包括壓電致動器蠕變和滯后引起的誤差。在閉環(huán)模式下，輸入電壓與來自納米定位平臺內(nèi)部的位置傳感器的電壓進(jìn)行比較，使用比例積分反饋回路，驅(qū)動器輸出不斷調(diào)整，以使傳感器信號與驅(qū)動器的輸入信號相匹配。由于傳感器信號與絕對位置高度成比例，因此納米定位器的位置與驅(qū)動器輸入電壓相匹配。消除了蠕變和滯后的影響。在任何需要穩(wěn)定性、精度和可重復(fù)性的納米定位應(yīng)用中，閉環(huán)系統(tǒng)都是必需的。