納米定位撓性平臺(tái)基于柔性鉸鏈形變彎曲導(dǎo)向具有零機(jī)械摩擦的獨(dú)特屬性

納米定位系統(tǒng)使用多層壓電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，這些致動(dòng)器由PZT壓電陶瓷制成，壓電陶瓷會(huì)隨著施加的電壓而膨脹。通過(guò)研生精確的電子閉環(huán)控制系統(tǒng)來(lái)消除PZT壓電陶瓷的滯后和蠕變，使壓電陶瓷的膨脹與控制信號(hào)呈線(xiàn)性關(guān)系。研生PIEZOXYZ的納米定位撓性平臺(tái)由內(nèi)置壓電疊堆致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，基于柔性鉸鏈形變彎曲導(dǎo)向具有零機(jī)械摩擦的獨(dú)特屬性，精心設(shè)計(jì)的柔性鉸鏈彎曲部分將每個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)限制在一個(gè)方向，這有效地解耦了PZT壓電致動(dòng)器中不需要的運(yùn)動(dòng)，從而產(chǎn)生純粹的一維平移運(yùn)動(dòng)。