壓電偏轉鏡 ║P334S是采用壓電陶瓷驅動的二維柔性鉸鏈壓電偏擺鏡，壓電偏轉鏡內部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，緊湊的差分并聯(lián)結構柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電偏擺鏡內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電偏擺鏡具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。緊湊型設計，可更好的集成于光學系統(tǒng)中?？筛鶕?jù)用戶需求定制固定及出線方式。

內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障，可實現(xiàn)更久的使用壽命。

零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。

并聯(lián)運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作
在并聯(lián)多軸運動定位系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質量慣性和相同的動態(tài)性設計，可實現(xiàn)快速、高動態(tài)和高精密的運動。

多軸偏擺系統(tǒng)運動學

研生公司的壓電偏擺系統(tǒng)基于所有運動軸在單一移動平臺并聯(lián)運動。該系統(tǒng)可實現(xiàn)比兩個單軸串聯(lián)系統(tǒng)具有更高的線性度，且這種并聯(lián)結構外形尺寸更加緊湊。壓電偏擺鏡和壓電偏擺平臺適用于高動態(tài)操作，例如追蹤、掃描、圖像穩(wěn)定、消除漂移和振動；同時也適用于光學系統(tǒng)和標本的靜態(tài)定位。研生的壓電偏擺系列產品可使光束偏轉至90mrad（甚至更大偏轉角）、幾微秒的極短響應時間和可達納弧度范圍的分辨率。研生提供多種大范圍偏轉角的緊湊型激光束偏轉控制系統(tǒng)。

差動壓電陶瓷驅動的偏擺系統(tǒng)（四腳支架）

壓電偏擺鏡動力學

壓電偏擺系統(tǒng)的最大工作頻率取決于它的機械諧振頻率。

為了估計系統(tǒng)的有效諧振頻率，需計算出反射鏡的轉動慣量。

圓形反射鏡的轉動慣量計算公式如下：

矩形反射鏡的轉動慣量計算公式如下：

帶載反射鏡的偏擺系統(tǒng)的諧振頻率

根據(jù)已知的空載偏擺系統(tǒng)的諧振頻率及轉動慣量(參見 >> 產品技術參數(shù))和計算得出的反射鏡轉動慣量，可通過如下公式計算得出整個偏擺系統(tǒng)的諧振頻率。

帶載反射鏡的偏擺系統(tǒng)的諧振頻率計算公式如下：

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。