壓電偏擺鏡 ║P342S是采用壓電陶瓷驅(qū)動的二維納米級精密光束壓電陶瓷偏擺鏡，壓電偏擺鏡內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，壓電偏擺臺壓電偏擺鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電偏擺臺具有極佳的運(yùn)動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級。緊湊型設(shè)計(jì)，可更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)中?？筛鶕?jù)用戶需求定制固定及出線方式。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障，可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。

并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)高動態(tài)多軸操作
在并聯(lián)多軸運(yùn)動定位系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個(gè)運(yùn)動平臺。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動態(tài)性設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速、高動態(tài)和高精密的運(yùn)動。

多軸偏擺系統(tǒng)運(yùn)動學(xué)

研生公司的壓電偏擺系統(tǒng)基于所有運(yùn)動軸在單一移動平臺并聯(lián)運(yùn)動。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)比兩個(gè)單軸串聯(lián)系統(tǒng)具有更高的線性度，且這種并聯(lián)結(jié)構(gòu)外形尺寸更加緊湊。壓電偏擺鏡和壓電偏擺平臺適用于高動態(tài)操作，例如追蹤、掃描、圖像穩(wěn)定、消除漂移和振動；同時(shí)也適用于光學(xué)系統(tǒng)和標(biāo)本的靜態(tài)定位。研生的壓電偏擺系列產(chǎn)品可使光束偏轉(zhuǎn)至90mrad（甚至更大偏轉(zhuǎn)角）、幾微秒的極短響應(yīng)時(shí)間和可達(dá)納弧度范圍的分辨率。研生提供多種大范圍偏轉(zhuǎn)角的緊湊型激光束偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)。

差動壓電陶瓷驅(qū)動的偏擺系統(tǒng)（四腳支架）

壓電偏擺鏡動力學(xué)

壓電偏擺系統(tǒng)的最大工作頻率取決于它的機(jī)械諧振頻率。

為了估計(jì)系統(tǒng)的有效諧振頻率，需計(jì)算出反射鏡的轉(zhuǎn)動慣量。

圓形反射鏡的轉(zhuǎn)動慣量計(jì)算公式如下：

矩形反射鏡的轉(zhuǎn)動慣量計(jì)算公式如下：

帶載反射鏡的偏擺系統(tǒng)的諧振頻率

根據(jù)已知的空載偏擺系統(tǒng)的諧振頻率及轉(zhuǎn)動慣量(參見 >> 產(chǎn)品技術(shù)參數(shù))和計(jì)算得出的反射鏡轉(zhuǎn)動慣量，可通過如下公式計(jì)算得出整個(gè)偏擺系統(tǒng)的諧振頻率。

帶載反射鏡的偏擺系統(tǒng)的諧振頻率計(jì)算公式如下：

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。