集成電容位移傳感器的壓電陶瓷柔性鉸鏈偏擺運(yùn)動系統(tǒng)可精確測量偏擺運(yùn)動

將電容位移傳感器集成在壓電陶瓷偏擺運(yùn)動控制系統(tǒng)中可精確測量偏擺運(yùn)動，可差動測量移動的物理偏轉(zhuǎn)角，并在需要的情況下進(jìn)行補(bǔ)償。研生PIEZOXYZ的多軸偏擺納米定位系統(tǒng)中，允許同時(shí)測量所有自由度，并積極彌補(bǔ)導(dǎo)向錯(cuò)誤（主動軌跡控制概念），有效避免多軸串?dāng)_誤差，配置有研生PIEZOXYZ電容位置傳感器的納米定位運(yùn)動控制系統(tǒng)憑借其最佳的定位分辨率使其成為最精準(zhǔn)測量的運(yùn)動控制系統(tǒng)。

采用壓電陶瓷驅(qū)動的Z向和Tip/Tilt壓電納米定位掃描臺

壓電Z/偏擺臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，專為Z軸和θx、θx軸偏擺運(yùn)動的納米級精密掃描與定位應(yīng)用而設(shè)計(jì)的壓電掃描臺，實(shí)現(xiàn)高分辨率高精度的掃描與定位，內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。中空式設(shè)計(jì)，且中央通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

壓電掃描臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米掃描臺具有極佳的運(yùn)動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運(yùn)動導(dǎo)向

壓電平臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護(hù)等特點(diǎn)。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

采用無磁材質(zhì)設(shè)計(jì)制造，不受磁場的影響

壓電納米位移臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時(shí)也不受磁場的影響。

直接位置測量帶來超高的運(yùn)動控制精度

位移變化可直接在納米運(yùn)動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)大承載、高精度、高動態(tài)的多軸并聯(lián)運(yùn)動

壓電掃描平臺采用獨(dú)特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊。在并聯(lián)多軸運(yùn)動定位系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個(gè)運(yùn)動平臺，使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動態(tài)性設(shè)計(jì)，使整體運(yùn)動面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量，從而實(shí)現(xiàn)快速、高動態(tài)和高精密的多軸運(yùn)動且每軸具有相同的動態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺，并聯(lián)式壓電掃描臺具有更高的負(fù)載、更高的動態(tài)性和更優(yōu)的運(yùn)動精度。

應(yīng)用于天文望遠(yuǎn)鏡、激光通訊、自適應(yīng)光學(xué)、復(fù)合軸精密跟蹤等領(lǐng)域

快速反射鏡系統(tǒng)(FSM)作為發(fā)射光源與接收端之間控制光束傳播方向的精密光學(xué)儀器，集光、機(jī)、電技術(shù)于一身，內(nèi)置的精密壓電掃描臺作為核心部件發(fā)揮著重要的作用，憑借其高精度、高分辨率、快速響應(yīng)等優(yōu)點(diǎn)，已被廣泛應(yīng)用于天文望遠(yuǎn)鏡、激光通訊、自適應(yīng)光學(xué)、復(fù)合軸精密跟蹤等領(lǐng)域。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。

? 各運(yùn)動軸的行程范圍相互制約，此表中的數(shù)據(jù)為單軸可實(shí)現(xiàn)的最大行程。