多軸并聯(lián)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，進行實時的位置校準，主動補償多軸的串擾誤差

在多軸并聯(lián)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中，所有壓電陶瓷促動器直接并聯(lián)作用于單一運動平臺上，這意味著可以為所有軸設計出具有相同的動態(tài)特性，從而可以大幅降低移動負載的質(zhì)量，同時并聯(lián)運動系統(tǒng)可比串行堆疊或嵌套結構系統(tǒng)設計得更緊湊，并配置有多軸同時測量的非接觸式電容位移傳感器，進行實時的位置校準，主動補償多軸的串擾誤差，從而單個軸的誤差和質(zhì)量不會累積。由于最小化質(zhì)量慣性，并聯(lián)運動系統(tǒng)可提供多達6個水平的自由度和所有軸的高動態(tài)。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

壓電納米定位臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米定位臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

并聯(lián)式結構設計實現(xiàn)大承載、高精度、高動態(tài)的多至六自由度并聯(lián)運動

壓電平臺采用獨特的并聯(lián)式結構設計，結構緊湊。在6軸并聯(lián)運動定位系統(tǒng)中，所有壓電促動器直接作用于同一個運動平臺，即所有軸都被設計成具有相同的動態(tài)特性，從而顯著減小移動質(zhì)量，使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動態(tài)性設計，使整體運動面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量，可實現(xiàn)快速、高動態(tài)和高精密的多軸運動且每軸具有相同的動態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺，并聯(lián)式壓電掃描臺具有更高的負載、更高的動態(tài)性和更優(yōu)的運動精度。

采用壓電陶瓷驅(qū)動的六維高精度柔性鉸鏈并聯(lián)式壓電納米定位平臺

六軸并聯(lián)納米定位系統(tǒng)用于在六個自由度上（即三條線性軸和三條旋轉(zhuǎn)軸）實現(xiàn)負載進行納米級的精準移動與定位、校準以及移置。六維并聯(lián)柔性鉸鏈壓電平臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構，采用中空式并聯(lián)式結構設計，結構緊湊、易于集成，且中央通孔較大，非常適合應用于超高精度的納米級精密定位掃描系統(tǒng)中，可更好的集成于精密定位掃描系統(tǒng)中。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導向系統(tǒng)帶來高精度的運動導向

壓電納米位移臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

主動彌補串擾測量誤差，保證納米定位系統(tǒng)有效避免多軸運動串擾

研生PIEZOXYZ所研發(fā)的集成納米級電容位移傳感器的壓電陶瓷柔性鉸鏈位移臺，通過非接觸式多軸直接測量，實時檢測運動對另一個軸的串擾，主動彌補串擾測量誤差，保證納米定位系統(tǒng)有效避免多軸運動串擾，并且較高的傳感器帶寬可提供絕佳的動態(tài)性能。研生的低噪聲集成線性化納米定位系統(tǒng)在測量直線度和平面度方面技術優(yōu)勢顯著。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應控制。

可提供適用于復雜真空應用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

采用無磁材質(zhì)設計制造，不受磁場的影響

壓電納米位移臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。

具有電容位移傳感器的高性能閉環(huán)多軸納米定位系統(tǒng)平臺，結合直接測量和并聯(lián)運動

研生PIEZOXYZ所研發(fā)的具有電容位移傳感器的高性能閉環(huán)多軸納米定位系統(tǒng)平臺，結合直接測量和并聯(lián)運動。在多軸壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用時，允許同時測量所有自由度，并積極彌補運動導向錯誤（主動軌跡控制概念），實時校準多軸運動誤差，有效避免串聯(lián)或疊層結構的定位系統(tǒng)所帶來的誤差疊加。電容傳感器是給出最佳定位分辨率結果的最精準的測量系統(tǒng)。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。

? 各運動軸的行程范圍相互制約，此表中的數(shù)據(jù)為單軸可實現(xiàn)的最大行程。