主動彌補串擾測量誤差，保證納米定位系統(tǒng)有效避免多軸運動串擾

研生PIEZOXYZ所研發(fā)的集成納米級電容位移傳感器的壓電陶瓷柔性鉸鏈壓電納米臺，通過非接觸式多軸直接測量，實時檢測運動對另一個軸的串擾，主動彌補串擾測量誤差，保證納米定位系統(tǒng)有效避免多軸運動串擾，并且較高的傳感器帶寬可提供絕佳的動態(tài)性能。研生的低噪聲集成線性化納米定位系統(tǒng)在測量直線度和平面度方面技術(shù)優(yōu)勢顯著。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

壓電納米定位臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米定位臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

采用無磁材質(zhì)設(shè)計制造，不受磁場的影響

壓電納米位移臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)大承載、高精度、高動態(tài)的多自由度并聯(lián)運動

壓電平臺采用獨特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊。所有壓電促動器直接作用于同一個運動平臺，即所有軸都被設(shè)計成具有相同的動態(tài)特性，從而顯著減小移動質(zhì)量，使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動態(tài)性設(shè)計，使整體運動面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量，可實現(xiàn)快速、高動態(tài)和高精密的多軸運動且每軸具有相同的動態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺，并聯(lián)式壓電掃描臺具有更高的負載、更高的動態(tài)性和更優(yōu)的運動精度。

具有電容位移傳感器的高性能閉環(huán)多軸納米定位系統(tǒng)平臺，結(jié)合直接測量和并聯(lián)運動

研生PIEZOXYZ所研發(fā)的具有電容位移傳感器的高性能閉環(huán)多軸納米定位系統(tǒng)平臺，結(jié)合直接測量和并聯(lián)運動。在多軸壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用時，允許同時測量所有自由度，并積極彌補運動導(dǎo)向錯誤（主動軌跡控制概念），實時校準多軸運動誤差，有效避免串聯(lián)或疊層結(jié)構(gòu)的定位系統(tǒng)所帶來的誤差疊加。電容傳感器是給出最佳定位分辨率結(jié)果的最精準的測量系統(tǒng)。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運動導(dǎo)向

壓電納米位移臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。

? 各運動軸的行程范圍相互制約，此表中的數(shù)據(jù)為單軸可實現(xiàn)的最大行程。