壓電陶瓷Z向納米臺(tái) ║P322ZS是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)壓電納米定位臺(tái)，壓電升降臺(tái)內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，壓電平臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電平臺(tái)具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。壓電平臺(tái)為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。壓電升降臺(tái)特點(diǎn)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動(dòng)器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障，可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。

? 各運(yùn)動(dòng)軸的行程范圍相互制約，此表中的數(shù)據(jù)為單軸可實(shí)現(xiàn)的最大行程。