采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的Z向納米級(jí)壓電陶瓷掃描臺(tái)

壓電偏擺臺(tái)內(nèi)置高性能壓電陶瓷，專為Z軸納米級(jí)精密掃描與定位應(yīng)用而設(shè)計(jì)的壓電掃描臺(tái)，實(shí)現(xiàn)高分辨率高精度的掃描與定位，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。中空式設(shè)計(jì)，且中央通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。大中空式壓電掃描臺(tái)被廣泛應(yīng)用于掃描顯微鏡、光學(xué)、光刻、存儲(chǔ)設(shè)備測試、激光技術(shù)、微加工、半導(dǎo)體測試、干涉測量等。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

壓電掃描臺(tái)內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米掃描臺(tái)具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動(dòng)器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動(dòng)器比傳統(tǒng)式壓電促動(dòng)器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向

壓電掃描臺(tái)內(nèi)部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護(hù)等特點(diǎn)。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

采用無磁材質(zhì)設(shè)計(jì)制造，不受磁場的影響

壓電納米掃描臺(tái)為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時(shí)也不受磁場的影響。

直接位置測量帶來超高的運(yùn)動(dòng)控制精度

位移變化可直接在納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)大承載、高精度、高動(dòng)態(tài)的多軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)

壓電掃描平臺(tái)采用獨(dú)特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊。在并聯(lián)多軸運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)中，所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動(dòng)態(tài)性設(shè)計(jì)，使整體運(yùn)動(dòng)面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量，從而實(shí)現(xiàn)快速、高動(dòng)態(tài)和高精密的多軸運(yùn)動(dòng)且每軸具有相同的動(dòng)態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺(tái)，并聯(lián)式壓電掃描臺(tái)具有更高的負(fù)載、更高的動(dòng)態(tài)性和更優(yōu)的運(yùn)動(dòng)精度。

納米級(jí)電容位移傳感器可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍

研生PIEZOXYZ研發(fā)生產(chǎn)的納米級(jí)電容位移傳感器通過測量使用均勻電場的傳感器探頭和移動(dòng)目標(biāo)表面之間的電容的變化，絕對(duì)值通過經(jīng)調(diào)整、校準(zhǔn)的系統(tǒng)確定，最小距離偏差通過無接觸在長距離基礎(chǔ)上測量，可達(dá)到的精度分辨率是納米級(jí)范圍，可有效測量最短的距離，高分辨率位移測量中的納米定位應(yīng)用。通過雙極板電容傳感器測量移動(dòng)物體最大精度的直接距離和實(shí)際位置。無接觸測量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬，可滿足動(dòng)態(tài)應(yīng)用中的閉環(huán)控制。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。