Z向壓電掃描臺(tái) ║P520S是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)精密定位壓電升降臺(tái)，Z向壓電掃描臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，壓電掃描臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電掃描臺(tái)具有極佳的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。中空式超薄設(shè)計(jì)，且中央通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動(dòng)器具有超長(zhǎng)使用壽命
壓電陶瓷促動(dòng)器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障，可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度
柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。

? 基于無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。開(kāi)環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿(mǎn)行程十萬(wàn)分之一以上的閉環(huán)分辨率。