并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)大承載、高精度、高動態(tài)的多軸并聯(lián)運動

壓電掃描平臺采用獨特的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊。在并聯(lián)多軸運動定位系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺，使所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的動態(tài)性設(shè)計，使整體運動面具有更輕的質(zhì)量和更低的慣量，從而實現(xiàn)快速、高動態(tài)和高精密的多軸運動且每軸具有相同的動態(tài)性。相較于串聯(lián)式壓電掃描臺，并聯(lián)式壓電掃描臺具有更高的負(fù)載、更高的動態(tài)性和更優(yōu)的運動精度。

采用壓電陶瓷驅(qū)動的Z向納米級壓電陶瓷掃描臺

Z向壓電掃描臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，專為Z軸納米級精密掃描與定位應(yīng)用而設(shè)計的壓電掃描臺，實現(xiàn)高分辨率高精度的掃描與定位，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。中空式設(shè)計，且中央通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。大中空式壓電掃描臺被廣泛應(yīng)用于掃描顯微鏡、光學(xué)、光刻、存儲設(shè)備測試、激光技術(shù)、微加工、半導(dǎo)體測試、干涉測量等。

內(nèi)置電容式精密位移傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

壓電掃描臺內(nèi)置電容式精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米掃描臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

內(nèi)置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環(huán)氧脂質(zhì)涂層包裹，具有優(yōu)異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統(tǒng)式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩(wěn)定，可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復(fù)定位精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)帶來高精度的運動導(dǎo)向

壓電掃描臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導(dǎo)向具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護(hù)等特點。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

采用無磁材質(zhì)設(shè)計制造，不受磁場的影響

壓電納米掃描臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。

可提供適用于復(fù)雜真空應(yīng)用版本

壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空環(huán)境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

納米級電容位移傳感器可達(dá)到的精度分辨率是納米級范圍

研生PIEZOXYZ研發(fā)生產(chǎn)的納米級電容位移傳感器通過測量使用均勻電場的傳感器探頭和移動目標(biāo)表面之間的電容的變化，絕對值通過經(jīng)調(diào)整、校準(zhǔn)的系統(tǒng)確定，最小距離偏差通過無接觸在長距離基礎(chǔ)上測量，可達(dá)到的精度分辨率是納米級范圍，可有效測量最短的距離，高分辨率位移測量中的納米定位應(yīng)用。通過雙極板電容傳感器測量移動物體最大精度的直接距離和實際位置。無接觸測量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬，可滿足動態(tài)應(yīng)用中的閉環(huán)控制。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導(dǎo)向的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。開環(huán)分辨率為受系統(tǒng)放大器噪聲限制所能達(dá)到的典型值。極低的系統(tǒng)定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環(huán)分辨率。